特許
J-GLOBAL ID：200903052391846052
管状物加熱器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-319194
公開番号（公開出願番号）：特開平5-159866
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】半導体製造プロセスなどで使用される高純度ガス用配管の湾曲部やバルブ、流量計などの部品を継ぐ短い直管部、および管状のフィルターなど管状物の内面に吸着している水分などの不純物ガスの焼き出し処理を、100V電源で1つのコンセントで複数箇所まとめて実施できる加熱器を得る。【構成】金属発熱線を耐熱製樹脂またはゴムの層間に埋設し、軸方向に装着用の開口溝1を設けた構造の小型筒状の加熱部2を導線3によって複数個直列に接続配線する。
請求項（抜粋）：
配管および管状フィルターの内面に吸着した微量の不純物ガスを加熱によって脱着させ、除去するための管状物加熱器において、金属発熱線が耐熱性樹脂またはゴムの層間に埋設さた筒状の加熱部であって、かつ側面長軸方向に装脱着用の開口溝が設けられてなる複数個の加熱部が、導線によって互いに直列に配線されてなることを特徴とする管状物加熱器。
IPC (2件)：
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