特許
J-GLOBAL ID：200903052392827442
クリーンルームの空調システム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-116371
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285343
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】温度むらの発生を防ぎ、精密な温度制御を可能とするクリーンルームの空調システムの提供。【構成】クリーンルームを縦方向に複数のエリアに分割し、各エリアごとの温度を個々に検出する温度センサ40、40...を配設し、給気ダクト20の吹出口21、21...を各エリアごとに対応させて形成すると共に、吹出口21、21...には開閉可能なダンパ22、22...を配設する。ダンパ22、22...は温度センサ40、40...が検出した各エリアの温度に対応して開度を調整することができる。これにより、空調エア18自体の温度を変えることなく、各エリアに供給するエア19の冷熱量または温熱量のエアを供給することができるため、クリーンルーム内に温度むらが発生しないようにきめ細かく室内温度を制御することができる。
請求項（抜粋）：
空調空気を天井裏空間に配設された給気ダクトを介して前記天井裏空間に給気し、天井面に敷設された多数のファンフィルタユニットからクリーンルーム内に下向流として吹き出すと共に、クリーンルーム床面を形成するグレーチング床から床下空間に排出するクリーンルームの空調システムに於いて、前記クリーンルーム内を縦方向に複数のエリアに分割すると共に、前記エリアごとの温度を個々に検出する温度センサを設け、前記給気ダクトの吹出口を前記分割したエリアごとに対応させて形成すると共に、前記吹出口にそれぞれ給気用開閉ダンパを設け、前記温度センサで検出されるエリアごとの温度に基づいて前記エリアに対応する給気用開閉ダンパの開閉率を制御することを特徴とするクリーンルームの空調システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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