特許
J-GLOBAL ID：200903052395233276
撮像素子の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-274169
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111795
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 CCDのの欠陥画素を精度良く検出。【解決手段】 CCD2に強い光と弱い光の二段階以上の光を選択的に投射する光源3および無彩色フィルタ10;強い光のときの撮像信号を高レベルの比較電圧Vref1にて第1デ-タに変換し、弱い光のときは低レベルの比較電圧Vref2にて第2デ-タに変換するA/D変換器5;第1デ-タおよび第2デ-タを記憶する画像メモリ15;および、第1デ-タDM1iと第2デ-タDM2iの同一画素iのものの比Riを算出する演算手段81;を備える。全画素の比Riの最大値Rimaxおよび最小値Riminを摘出し、不均一性値PRNU=Δ3/Rimax=(Rimax-Rimin)/Rimaxを算出し、これがしきい値PRNUtを越えると、CCD2を不良品と見なす。
請求項（抜粋）：
多数の光電変換素子の配列を含む撮像素子とその光電変換信号を出力する駆動回路を有する撮像装置の、撮像素子に強い光と弱い光の二段階以上の光を選択的に投射する光源装置;前記撮像装置の光電変換信号をデジタルデ-タに変換するA/D変換手段;前記光源装置が撮像素子に強い光を投射しているときの前記デジタルデ-タである第1デ-タと、前記光源装置が撮像素子に弱い光を投射しているときの前記デジタルデ-タである第2デ-タの少くとも一方を記憶するメモリ手段;および、前記第1デ-タと第2デ-タの同一光電変換素子のものの相対値を算出する演算手段;を備える撮像素子の検査装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01M 11/00
, H01L 27/14
, H04N 1/028
, H04N 1/04
H01L 21/66 X
, G01M 11/00 T
, H04N 1/028 Z
, H01L 27/14 Z
, H04N 1/04 Z
