特許
J-GLOBAL ID：200903052399405691
ウェハプロービング試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048959
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251522
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 プローブカードの装着や脱離を容易に行なうことができるウェハプロービング試験装置を提供する。【構成】 下部が円筒状に形成されたインサートリング本体22の下端面に設けられたプローブカード装着基板25と、このプローブカード装着基板25に装着されたプローブカード34を密着させる内側鍔部40を有する締付けリング39と、インサートリング本体22に設けられたプローブカード装着基板25に締付けリング39を係止する夫々に設けられ互いに係合するガイドピン26及びガイド溝41と、プローブカード34をプローブカード装着基板25に装着した際に互いに導通する夫々に設けられた複数対のコンタクトスプリングピン28及び接触部37とを備えており、プローブカード34の装着や脱離を容易に行なうことができる。
請求項（抜粋）：
下部が円筒状に形成されたインサートリング本体と、このインサートリング本体の下端面に設けられたプローブカード装着基板と、このプローブカード装着基板に装着されるプローブカードと、前記インサートリング本体の下部に係止され前記プローブカードを前記プローブカード装着基板に装着し密着させる内側鍔部を有する締付けリングとを備えると共に、前記インサートリング本体に前記締付けリングを係止するに際し該インサートリング本体の下部外周面及び該締付けリング内周面に設けられて互いに係合するガイドピン及びガイド溝と、前記プローブカードを前記プローブカード装着基板に装着することによって互いに導通するように該プローブカード及び該プローブカード装着基板の対向面に設けられた複数対のコンタクトピン及び接触部とを具備したことを特徴とするウェハプロービング試験装置。
IPC (2件)：
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