特許

J-GLOBAL ID：200903052401265541

半導体装置

発明者： 行徳 太一 ,  書上 透
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-101683
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353783
出願日： 2000年04月04日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 バーンインのためにデータを入力するプローブの数を削減する。【解決手段】 セレクタ50を設け、これには第1の入力端子31からの出力信号311が分岐して入力される。また、このセレクタには、第2の入力端子32からの出力信号321も入力される。いずれの信号を入力として選択するかは、外部のセレクタ選択端子6からの信号による。バーンインを行うモードの時には、第1の入力端子からバーンインデータを入力し、セレクタはこの第1の入力端子からの出力信号を選択して第2の入力端子に対応したバーンイン対象回路2内のスキャンチェーンへ出力する。

請求項（抜粋）：

通常のテスト時にはそのためのデータが入力される入力端子と出力される出力端子とを有する通常入力端子付スキャンチェーンと、通常のテスト用データのみならず、バーンイン用のデータが入力される入力端子と出力される出力端子とを有するバーンイン対応入力端子付スキャンチェーンと、前記バーンイン対応入力端子付スキャンチェーンの入力端子から当該スキャンチェーンまでの間で分岐された信号と前記通常入力端子付スキャンチェーンの入力端子からの信号とが選択的に入力可能であり、更にこの選択された信号が上記通常入力端子に対応した通常入力端子付スキャンチェーンへ出力がなされるよう接続されたセレクタと、前記セレクタに接続され、該セレクタに選択的に入力可能な上記2つの信号のうち、いずれを入力として選択するかを指示する信号が入力されるセレクタ選択端子とを有していることを特徴とする半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  G01R 31/3185 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

H01L 27/04 T ,  G01R 31/26 H ,  H01L 21/66 F ,  G01R 31/28 G ,  G01R 31/28 W