特許

J-GLOBAL ID：200903052401721857

配線構造

発明者： 多田 宗弘 ,  小倉 卓 ,  林 喜宏 ,  長原 達郎 ,  松尾 英樹
出願人/特許権者： 日本電気株式会社 ,  クラリアント ジャパン 株式会社
代理人 (1件)： 高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031299
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270691
出願日： 2000年12月01日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】 銅を配線材として用いても、微細な配線構造の形成が可能で、製造の工程数が少なく、低コスト化が可能な配線構造を提供する。【解決手段】 半導体素子が形成された基板上に絶縁膜103が多層形成され、絶縁膜103に形成された配線溝およびビアホールに金属配線剤が充填されて、配線および接続プラグが形成された配線構造において、絶縁膜103のうち少なくとも一層が対電子線感光性を有する材料から形成されており、絶縁膜103の層間にはバリア絶縁膜104を有し、前記金属配線剤は銅を含むものである。

請求項（抜粋）：

半導体素子が形成された基板上に絶縁膜が多層形成され、絶縁膜に形成された配線溝およびビアホールに金属配線剤が充填されて、配線および接続プラグが形成された配線構造において、前記絶縁膜のうち少なくとも一層が対電子線感光性を有する材料から形成されており、絶縁膜の層間および配線間には対銅バリア絶縁膜を有し、前記金属配線剤は銅を含むことを特徴とする配線構造。

IPC (5件)：

H01L 21/768 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/318 ,  H01L 21/3205

FI (8件)：

H01L 21/312 D ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/314 M ,  H01L 21/318 M ,  H01L 21/90 S ,  H01L 21/88 M ,  H01L 21/90 K ,  H01L 21/90 B

Fターム (104件)：

5F033HH04 ,  5F033HH05 ,  5F033HH06 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH14 ,  5F033HH15 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033HH30 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ05 ,  5F033JJ06 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ15 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ27 ,  5F033JJ28 ,  5F033JJ30 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK01 ,  5F033KK04 ,  5F033KK05 ,  5F033KK06 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK11 ,  5F033KK12 ,  5F033KK14 ,  5F033KK15 ,  5F033KK17 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK21 ,  5F033KK27 ,  5F033KK28 ,  5F033KK30 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033KK34 ,  5F033LL06 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP11 ,  5F033PP15 ,  5F033PP26 ,  5F033PP27 ,  5F033PP33 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ54 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ74 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR09 ,  5F033RR21 ,  5F033RR25 ,  5F033RR27 ,  5F033SS22 ,  5F033TT04 ,  5F033XX03 ,  5F033XX12 ,  5F033XX14 ,  5F033XX15 ,  5F033XX24 ,  5F033XX28 ,  5F058AC03 ,  5F058AD08 ,  5F058AD10 ,  5F058AF04 ,  5F058AH02 ,  5F058BD15 ,  5F058BD18 ,  5F058BD19 ,  5F058BJ02