特許

J-GLOBAL ID：200903052406387688

固体撮像素子

発明者： 木村 匡雄
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249471
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077339
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 開口部の面積を実質的に拡げることのできる構造の固体撮像素子の提供が望まれている。【解決手段】 基体2の表層部に光電変換をなす受光センサ部3が設けられ、基体2上に受光センサ部で形成された電荷を転送するための転送電極4、5とこれを覆う遮光膜6とが設けられてなる固体撮像素子20である。遮光膜6上に、画素分離をなすための仕切りとなる格子状あるいはストライプ状の遮光壁21が設けられている。遮光壁21で仕切られた各画素毎に、受光センサ部3の直上部に位置して層内レンズ22、23が設けられている。遮光壁21の上に平坦化されたパッシベーション膜27が設けられている。パッシベーション膜27の上にカラーフィルタ層28が設けられている。カラーフィルタ層28の上にオンチップレンズ29が設けられている。

請求項（抜粋）：

基体の表層部に光電変換をなす受光センサ部が設けられ、基体上に受光センサ部で形成された電荷を転送するための転送電極と該転送電極を覆う遮光膜とが設けられてなる固体撮像素子において、前記遮光膜上に、画素分離をなすための仕切りとなる格子状あるいはストライプ状の遮光壁が設けられ、前記遮光壁で仕切られた各画素毎に、前記受光センサ部の直上部に位置して層内レンズが設けられ、前記遮光壁の上に平坦化されたパッシベーション膜が設けられ、前記パッシベーション膜の上にカラーフィルタ層が設けられ、前記カラーフィルタ層の上にオンチップレンズが設けられてなることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 9/07 D

Fターム (24件)：

2H048BA02 ,  2H048BB01 ,  2H048BB02 ,  2H048BB10 ,  2H048BB13 ,  2H048BB24 ,  2H048BB46 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA32 ,  4M118CA33 ,  4M118CA34 ,  4M118EA01 ,  4M118GA09 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  5C065BB22 ,  5C065BB44 ,  5C065CC01 ,  5C065DD01 ,  5C065EE03 ,  5C065EE11 ,  5C065EE14