特許
J-GLOBAL ID：200903052408846230
微小圧力差検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-238331
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092047
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 従来よりヒステリシスが少なく、高感度の微小圧力差の検出装置を提供する。【構成】 中央部にホール素子センサー5を設けたベース1とそのカバー2とで形成される密閉空間が、金属製ダイヤフラム3により上下2室に区分され、前記ダイヤフラム3が非磁性の場合は、その下面中央部にホール素子6に微小間隔を保って対面する磁性体10が接合され、磁性の場合は、中央部が磁力線21を集中するようホール素子6に向かって凸状となっている。
請求項（抜粋）：
中央部にホール素子センサーを設けたベースとそのカバーとで形成される密閉空間が、金属製ダイヤフラムにより上下2室に区分され、前記ダイヤフラムが非磁性の場合は、その下面中央部にホール素子に微小間隔を保って対面する磁性体が接合され、磁性の場合は、中央部が磁力線を集中するようホール素子に向かって凸状となっていることを特徴とする微小圧力差検出装置。
IPC (2件)：
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