特許

J-GLOBAL ID：200903052414193000

蒸着装置および蒸着方法

発明者： 定別当 裕康 ,  矢澤 智哉
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-052507
公開番号（公開出願番号）：特開2000-248358
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】【課題】 蒸着材料の不必要な消耗を防ぎ、常に安定した蒸着ができる。【解決手段】 ブロック形状の蒸着材料1を収容する収容ケース2と、棒状のヒータ4が所定間隔で複数配列され、これら複数のヒータ4により収容ケース2内に収容された蒸着材料1の上面を加熱する発熱体3と、収容ケース2に収容された蒸着材料1をその上面がヒータ4に接触または接近する所定位置に押し上げる押上げ部材7とを備えた。従って、押上げ部材7により収容ケース2内の蒸着材料1をその上面が複数のヒータ4に接触または接近する所定位置に押し上げ、この状態で複数のヒータ4で蒸着材料1の上面を加熱するので、所定間隔で配列された各ヒータ4間を通して蒸着材料1をその上面から順次蒸発させることができ、これにより常に安定した蒸着ができ、従来のように蒸着材料1全体を蒸発温度に維持する必要がないため、蒸着材料1の不必要な消耗を防ぐことができる。

請求項（抜粋）：

上方に開口部を有し、固体状態の蒸着材料を収容する収容部と、前記収容部の上方に配置され、前記蒸着材料を溶融する温度に加熱可能な発熱体と、前記収容部に収容された前記蒸着材料と前記発熱体とを接触または接近する所定位置に配置するために、前記収容部に収容された前記蒸着材料または前記発熱体を移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26

FI (3件)：

C23C 14/24 C ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/26 Z

Fターム (11件)：

3K007AB00 ,  3K007DA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029BA03 ,  4K029BA21 ,  4K029BB02 ,  4K029DB03 ,  4K029DB04 ,  4K029DB07 ,  4K029DB18