特許

J-GLOBAL ID：200903052415963020

ウェーハ運搬用手押し台車

発明者： 大川内 義徳 ,  吉川 典昭
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-060747
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260847
出願日： 1999年03月08日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 オペレータの作業負担を軽減し、作業効率を向上できるウェーハ運搬用手押し台車を提供する。【解決手段】 人手で半導体収納容器を運搬するウェーハ運搬用手押し台車であり、各種の制御を行う制御装置11と、各種の情報を表示する表示装置12と、各種の情報を入力する入力装置13と、各装置に電源を供給するバッテリー15と、ホストコンピュータと通信する無線式通信装置17を搭載する。無線式通信装置17でホストコンピュータと通信し、半導体収納容器の情報を取得し、その情報に基づいて半導体収納容器を運搬する。

請求項（抜粋）：

各種の制御を行う制御装置と、各種の情報を表示する表示装置と、各種の情報を入力する入力装置と、各装置に電源を供給するバッテリーと、ホストコンピュータと通信する第1の通信手段とを少なくとも具備することを特徴とするウェーハ運搬用手押し台車。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B62B 3/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B62B 3/00 D

Fターム (10件)：

3D050AA11 ,  3D050BB05 ,  3D050DD03 ,  3D050EE08 ,  3D050EE15 ,  3D050GG06 ,  5F031CA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031GA57