情報の記録または再生を行うプローブおよびその作製方法、並びにそのプローブを用いた情報記録再生方法および情報記録再生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324563
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137932
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】記録の信頼性が高く、記録媒体を損傷せずに、高速記録が可能な情報の記録,再生を行うプローブとその作製方法、そのプローブを用いた情報記録再生方法,装置を提供する。【解決手段】支持部材に一端が固定支持の薄膜カンチレバーの先端に導電性の探針を形成、これと電気的に接続のピエゾ抵抗体を該薄膜カンチレバーの表面に形成したプローブを有し、これを記録媒体に対向させて電圧を印加し情報の記録または再生を行うプローブにおいて、前記ピエゾ抵抗体の一端を外部回路に接続用の一方の配線と、該抵抗体の別の一端を前記支持部材上の薄膜カンチレバー近傍の位置に形成の電流制限抵抗を介して外部回路に接続用の他方の配線とを備え、前記他方の配線が前記ピエゾ抵抗体の別の一端と前記電流制限抵抗とを接続する配線部で、前記電流制限抵抗を介さずに外部回路に接続するプローブを構成した。

請求項（抜粋）：

支持部材に一端が固定支持された薄膜カンチレバーの先端に導電性の探針を形成し、該探針と電気的に接続されたピエゾ抵抗体を該薄膜カンチレバーの表面に形成してなるプローブを有し、該プローブを記録媒体に対向させて電圧を印加し情報の記録または再生を行うプローブにおいて、前記ピエゾ抵抗体の一端を外部回路に接続するための一方の配線と、前記ピエゾ抵抗体の別の一端を前記支持部材上の薄膜カンチレバー近傍の位置に形成された電流制限抵抗を介して外部回路に接続するための他方の配線とを備え、前記他方の配線が前記ピエゾ抵抗体の別の一端と前記電流制限抵抗とを接続する配線部において、前記電流制限抵抗を介さずに外部回路に接続するように構成されていることを特徴とするプローブ。

IPC (6件)：

G11B 9/00 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G01N 13/12 , G01N 13/10 , G02B 21/00

FI (6件)：

G11B 9/00 , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z , G01N 37/00 C , G01N 37/00 Y , G02B 21/00

Fターム (22件)：

2F063AA43 , 2F063CA11 , 2F063DA01 , 2F063DA04 , 2F063DB05 , 2F063DC08 , 2F063DD02 , 2F063EA16 , 2F063FA07 , 2F063FA10 , 2F063GA57 , 2F063JA04 , 2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG52 , 2F069GG62 , 2F069HH02 , 2F069JJ14 , 2H052AA00

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