特許
J-GLOBAL ID：200903052431097678
洗浄方法及びその洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171211
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021031
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】有機系ポリマー層で被覆されたウエハー等の被処理材に形成した配線パターンを酸化させることなく洗浄を行なう洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【構成】被処理材表面19に形成された有機系ポリマー層6を、還元性エッチングガスの供給とプラズマ処理により除去する工程と、上記被処理材表面19を薬液で洗浄する工程と、上記被処理材表面19に付着した薬液を洗浄する工程と、上記被処理材表面19を還元する工程と、上記被処理材表面19に、有機系ポリマー層8を形成する工程を含み、且つこれらの工程を連続して行なう。
請求項（抜粋）：
被処理材表面に形成された有機系ポリマー層を、エッチングガスの供給とプラズマ処理により除去する工程と、前記被処理材表面を薬液で洗浄する工程と、前記被処理材表面に付着した薬液を洗浄する工程と、前記被処理材表面を還元する工程と、前記被処理材表面に有機系ポリマー層を形成する工程を含み、且つこれらの工程を連続して行なうことを特徴とする洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/302
