特許

J-GLOBAL ID：200903052434471104

蒸発源

発明者： 中河原 均 ,  下川 宏治 ,  森脇 崇行
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-213469
公開番号（公開出願番号）：特開2000-034558
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 大量の蒸発材料を充填でき、生産用成膜装置に適し、さらに有機物材料等の高蒸気圧材料で蒸発量の制御に優れた蒸発源を提供する。【解決手段】 板状抵抗体12と上蓋抵抗体13からなる抵抗加熱容器11を有し、水晶振動子式膜厚計からの検出信号で制御された電流を各抵抗体に流し発熱させて蒸発材料16を蒸発させ、抵抗加熱容器に設けた吹出し孔17から蒸発粒子を放出するように構成され、さらに抵抗加熱容器に容積の大きい材料容器15を設け、この材料容器に蒸発材料16を多量に充填し、かつ充填された蒸発材料の一部が板状抵抗体に接触するように構成される。

請求項（抜粋）：

抵抗体からなる抵抗加熱容器を有し、膜厚計からの検出信号で制御された電流を前記抵抗体に流し発熱させて蒸発材料を蒸発させ、前記抵抗加熱容器に設けた吹出し孔から蒸発粒子を放出する蒸発源において、前記抵抗加熱容器に容積の大きい材料容器を設け、前記材料容器に前記蒸発材料を多量に充填し、かつ充填された前記蒸発材料の一部が前記抵抗体に接触するようにしたことを特徴とする蒸発源。

FI (3件)：

C23C 14/24 A ,  C23C 14/24 B ,  C23C 14/24 U

Fターム (3件)：

4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-149765
  
• 特開昭62-050460
  
• 特開平1-252768