特許
J-GLOBAL ID：200903052435359260
反応炉
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268349
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106263
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】本発明は反応炉において、反応ガスが付着堆積することにより、交換が必要となる温度計の保護管の問題を有効に解決し得るようにした温度計を有する反応炉を提案しようとするものである。【構成】温度計10の第1の保護管3の外側を第2の保護管13で覆うようにすることにより、反応室4A内に供給される反応ガスの化学反応による影響は第2の保護管13の表面上に止められ、内側の第1の保護管3の表面にまで及ぶのを未然に防止し得る。さらに外側の第2の保護管13は第1の保護管3に上から被せただけなので、これにより簡易な手段で第2の保護管13を交換し得る。かくして温度計10と一体となつた第1の保護管3を交換することなく、外側の第2の保護管13を交換するようにしたことにより、従来に比して簡易に保護を成し得る温度計10を有する反応炉を得る。
請求項（抜粋）：
反応室内に供給された反応ガスの流路に配置され、熱電対が第1の保護管によつて覆われてなる温度計と、上記第1の保護管の表面を覆い、上記温度計を保護する第2の保護管とを具えることを特徴とする反応炉。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/22 511
, H01L 21/31
