特許

J-GLOBAL ID：200903052439172709

圧電構造体および複合圧電振動子の製造方法、複合圧電振動子

発明者： 若林 勝裕 ,  舟窪 朋樹 ,  沢田 之彦 ,  山田 典弘 ,  江刺 正喜
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社 ,  江刺 正喜
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112188
公開番号（公開出願番号）：特開2000-307162
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 微細加工が可能なぺロブスカイト構造のバルク状の圧電体からなる圧電構造体の製造方法を提供する。【解決手段】 ぺロブスカイト構造の圧電体ブロックをエッチング用ガスのプラズマを用いて選択的にエッチングすることを特徴とする圧電構造体の製造方法。

請求項（抜粋）：

ぺロブスカイト構造の圧電体ブロックをエッチング用ガスのプラズマを用いて選択的にエッチングすることを特徴とする圧電構造体の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  A61B 8/00 ,  G01N 29/24 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H04R 1/00 330 ,  H04R 31/00 330

FI (7件)：

H01L 41/08 C ,  A61B 8/00 ,  G01N 29/24 ,  H04R 1/00 330 A ,  H04R 31/00 330 ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 Z

Fターム (20件)：

2G047CA01 ,  2G047GB11 ,  2G047GB30 ,  2G047GB32 ,  2G047GB35 ,  4C301EE16 ,  4C301EE20 ,  4C301GB14 ,  4C301GB20 ,  4C301GB22 ,  4C301GB33 ,  4C301GB37 ,  5D019AA26 ,  5D019BB03 ,  5D019BB08 ,  5D019BB20 ,  5D019BB25 ,  5D019BB28 ,  5D019GG11 ,  5D019HH01