特許

J-GLOBAL ID：200903052441453464

高分解能距離測定装置

発明者： 吉田 久 ,  山田 英夫 ,  高浜 昭夫 ,  上野 敏行 ,  竹内 延夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227860
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055939
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 高い距離分解能を有し、安価でかつ小型軽量な構成の高分解能距離測定装置を提供する。【構成】 高速クロック発生手段13から、基準クロックの周期よりも短い周期を有する高速クロックが発生し、遅延生成手段14が基準クロックを用いた擬似ランダム信号に遅延を与えて、これによる変調波が測定対象物で反射された受信信号と擬似ランダム信号との相関をとり、遅延時間の関数として前記測定対象物までの距離を演算して、高速クロックの周期に相当する距離分解能を得る。

請求項（抜粋）：

連続光を放射する光源と、基準クロックを発生する基準クロック発生手段と、前記基準クロックを用いて擬似ランダム信号を発生する擬似ランダム信号発生手段と、前記連続光を前記擬似ランダム信号で変調光に変調する変調手段と、前記変調光を測定対象物へ送信する送信光学手段と、前記測定対象物で反射された前記変調光を受信する受信光学手段と、前記受信光学手段で受信された前記変調光を検出し、受信信号を出力する受光検出手段と、前記擬似ランダム信号と前記受信信号との相関をとり、遅延時間の関数として前記測定対象物までの距離を演算する遅延相関手段とを具備する距離測定装置において、前記基準クロックの周期よりも短い周期を有する高速クロックを発生する高速クロック発生手段と、前記高速クロックにより、前記測定対象物へ送信する前記変調光に遅延を与える遅延量可変な遅延生成手段とを具備することを特徴とする高分解能距離測定装置。