特許

J-GLOBAL ID：200903052444522408

ランガサイト型結晶の作製方法

発明者： 川中 博之
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-362688
公開番号（公開出願番号）：特開2002-053394
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】【課題】 チョクラルスキー法を用いて円柱状の結晶が得られ、またこの結晶から基板を切り出した際、加工ロスの少ない結晶が得られるランガサイト型結晶の作製方法を提供する。【解決手段】 上面9Aから下面9Bに向かって、この下面9Bに達しない長さのスリット10が縦横に形成された円柱形状のキャピラリーテーブル9をるつぼ5内に載置した後、このるつぼ5内にキャピラリーテーブル9の上面9Aよりも低い液面を有する融液6を作製し、次に、毛細管現象によりスリット10を伝わって上面9Aに這い上がった融液6を用いて、チョクラルスキー法により結晶の引き上げを行う。

請求項（抜粋）：

上面から下面に向かって、この下面に達しない長さのスリットが縦横に形成された円柱形状のキャピラリーテーブルをるつぼ内に載置した後、前記るつぼ内に前記キャピラリーテーブルの上面よりも低い液面を有する融液を作製し、次に、毛細管現象により前記スリットを伝わって前記上面に這い上がった前記融液を用いて、チョクラルスキー法により結晶の引き上げを行うことを特徴とするランガサイト型結晶の作製方法。

IPC (3件)：

C30B 29/34 ,  C30B 15/00 ,  H01L 41/24

FI (3件)：

C30B 29/34 Z ,  C30B 15/00 Z ,  H01L 41/22 A

Fターム (3件)：

4G077AA02 ,  4G077BC60 ,  4G077CF10