特許
J-GLOBAL ID：200903052457975967
プローブ針のコーティング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308160
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 膜剥がれのないマスキング境界を高い精度で形成可能な真空蒸着法に適したプローブ針のコーティング方法を提供する。【構成】 本発明によれば、プローブ針の非コーティング部分を溶融した熱溶融性ワックスにて覆い、前記非コーティング部分を覆う前記熱溶融性ワックスを常温にて硬化し、前記プローブ針全体に真空蒸着によりコーティング施し、前記熱溶融性ワックスを再び加熱溶融し、前記プローブ針から前記熱溶融性ワックスを除去することによりプローブ針のコーティングが行われる。その結果マスキング境界においてコーティング部と非コーティング部が正確に区分けされたプローブ針を得ることができる。さらにコーティング処理が終了したプローブ針に対して洗浄処理を施すことにより残存ワックスを完全に除去できる。
請求項（抜粋）：
プローブ針の非コーティング部分を溶融した熱溶融性ワックスにて覆い、前記非コーティング部分を覆う前記熱溶融性ワックスを常温にて硬化し、前記プローブ針全体に真空蒸着によりコーティングを施し、前記熱溶融性ワックスを再び加熱溶融し、前記プローブ針から前記熱溶融性ワックスを除去することを特徴とするプローブ針のコーティング方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
