特許

J-GLOBAL ID：200903052462265919

クリーンルームシステム

発明者： 杉井 憲二 ,  幅田 勉 ,  渡部 純三 ,  小崎 良男 ,  望月 明 ,  長屋 善雄 ,  小川 泰男 ,  牟田 惟義 ,  荒 勇
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社 ,  高砂熱学工業株式会社 ,  鹿島建設株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335482
公開番号（公開出願番号）：特開平6-159751
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 少ない循環空気量で室内の高い清浄度を確保し、設備の低コスト化、及び省エネルギー化を図る。【構成】 機器5を包む気流が吹き出される吹出口32を機器5に対向させて天井に配設し、この気流が吸い込まれる吸込口41を機器周囲のアクセスフロア39に適宜に配設する。機器5の発塵部に機器側吸込口60を配設し、床下基礎下部の除塵機45に空気を吸い込み清浄化した空気を床下に放出する。

請求項（抜粋）：

高天井クリーンルームに於いて、機器の周囲に強制的に気流を形成し、当該気流で機器の発塵排熱を室外に排出する局所処理ゾーンを有するクリーンルームシステムであって、前記機器を包む強制気流が吹き出される吹出口を当該機器に対向させて配置し、当該吹出口が中央吹出区と、当該中央吹出区を完全に囲む外側吹出区とからなり、該吹出口から当該機器全体を囲み且つ断面において、外周部高速、中央部に該外周部の速度を超えない強制気流が形成され、当該強制気流が吸い込まれる吸込口を、当該吹出口に対向させて、その下流の当該機器周囲に配設したことを特徴とするクリーンルームシステム。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-113221