特許

J-GLOBAL ID：200903052468351272

自動ワイヤボンダ

発明者： 板橋 一光
出願人/特許権者： 田中電子工業株式会社
代理人 (1件)： 早川 政名
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-262215
公開番号（公開出願番号）：特開平6-112262
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】放電電極からの放電をより安定性あるものとして、ボール形成時におけるボール径のばらつきが少ない自動ワイヤボンダを提供する。【構成】Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量10〜1000wtppm 含有せしめ、且つ、Ca,Be,Ge,Yの中から1種または2種以上を総量1〜100 wtppm 含有せしめ、残部IrからなるIr合金で放電電極1a及びそのヘッド部1bを形成した。

請求項（抜粋）：

ボンディング時におけるボール形成用の放電電極が、Os,Ru,Pt,Rh,Pdの中から1種または2種以上を総量10〜1000wtppm 含有し、残部IrからなるIr合金であることを特徴とする自動ワイヤボンダ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-256134
  
• 特開平2-010647
  
• 特開平2-094382