特許

J-GLOBAL ID：200903052470434177

磁気記録媒体の製造装置および方法

発明者： 中田 純司 ,  柏谷 誠
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143544
公開番号（公開出願番号）：特開2000-339679
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 高周波誘導加熱法を利用した真空蒸着によって磁気記録媒体を製造する方法および装置であって、融解した磁性材料の漏出しに起因する問題を抑制できる磁気記録媒体の製造方法および装置を提供することを目的とする。【解決手段】上方に向かって開口する磁性材料収容部を備えた第1のルツボ(12)と、該第1のルツボの外側に配置され前記磁性材料収容部(12a)内の磁性材料(10)を加熱して蒸発させる高周波誘導加熱手段(13)と、摂氏1800度以上の融点を有する耐火物セラミックスからなり前記第1のルツボと前記高周波誘導加熱手段との間に配置された充填材(14)とを有する蒸発源(11)を備えている磁気記録媒体の製造装置。

請求項（抜粋）：

上方に向かって開口する磁性材料収容部を備えた第1のルツボと、該第1のルツボの外側に配置され前記磁性材料収容部内の磁性材料を加熱して蒸発させる高周波誘導加熱手段と、摂氏1800度以上の融点を有する耐火物セラミックスからなり前記第1のルツボと前記高周波誘導加熱手段との間に配置された充填材とを有する蒸発源を備えている磁気記録媒体の製造装置。

IPC (3件)：

G11B 5/85 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/26

FI (3件)：

G11B 5/85 A ,  C23C 14/24 A ,  C23C 14/26 B

Fターム (16件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA01 ,  4K029BB01 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029BD12 ,  4K029CA01 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB19 ,  5D112AA05 ,  5D112AA30 ,  5D112FA02 ,  5D112FB23 ,  5D112GB01