特許
J-GLOBAL ID：200903052478249131
サーマルヘッドおよびサーマルヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-147880
公開番号（公開出願番号）：特開平11-078091
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：
【要約】【課題】保護膜の腐食や摩耗が極めて少なく、しかも熱や機械的衝撃に対しても保護膜の割れや剥離の発生を防止して、十分な耐久性を有し、長期に渡って高い信頼性を発揮できるサーマルヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】発熱体を保護する保護膜として、セラミックを主成分とする下層保護膜と、下層保護膜を面積比で5%〜95%の被膜率で不連続的に覆う炭素を主成分とする上層保護膜とを有するサーマルヘッド,および,発熱体を覆ってセラミック膜を形成し、レジストを利用したエッチングによって、あるいはイオン照射によって、下層保護膜と、これを不連続的に覆う炭素を主成分とする上層保護膜とを形成する製造方法により、前記課題を解決する。
請求項（抜粋）：
発熱体を保護する保護膜として、セラミックを主成分とする下層保護膜と、前記下層保護膜を面積比で5%〜95%の被覆率で不連続的に覆う、炭素を主成分とする上層保護膜とを有することを特徴とするサーマルヘッド。
FI (2件)：
B41J 3/20 111 F
, B41J 3/20 111 H
