基体保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤田龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210924
公開番号（公開出願番号）：特開平6-033236
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】基体と弾性体との密着性を改善し、基体の冷却効率を向上する。【構成】冷却用ホルダ1に弾性体4を介して基体5を保持した基体保持装置において、弾性体4の少なくとも基体3と接する面に複数の凸部5を形成する。

請求項（抜粋）：