特許
J-GLOBAL ID：200903052481325760
テ-ブル装置及びその組立方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114747
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320366
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：
【要約】【目的】可動機械部分を石定盤に精度よく取り付けることが可能なテ-ブル装置を提供することにある。【構成】石定盤1にXYテ-ブル13を取付けてなるテ-ブル装置11において、石定盤1とXYテ-ブル13との間に取付け板12、12を介在させ、取付け板12、12によってXYテ-ブル13の平面度を調節し、XYテ-ブル13を石定盤1に取付けた。
請求項（抜粋）：
石定盤に可動機械部分を取付けてなるテ-ブル装置において、上記石定盤と上記可動機械部分との間に取付け板を介在させ、上記取付け板によって上記可動機械部分の上記石定盤への取付け部の平面度を調整し、上記可動機械部分を上記石定盤に取付けることを特徴とするテ-ブル装置。
IPC (3件)：
B23Q 1/00
, G12B 5/00
, H01L 21/68
