特許

J-GLOBAL ID：200903052481883291

位置合わせマークを有するインプリント・リソグラフィ・テンプレート

発明者： ベイリー,トッド・シー ,  ジョンソン,スティーブン・シイ ,  コルバーン,マシュー・イー ,  チョイ,ビュン・ジェイ ,  スミス,ブライアン・ジェイ ,  エッカート,ジョン・ジイ ,  ウィルソン,カールトン・ジイ ,  スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ
出願人/特許権者： ボード・オブ・リージエンツ,ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-527012
公開番号（公開出願番号）：特表2007-506281
出願日： 2004年09月16日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：

本発明の一実施形態は、インプリント・テンプレートのバルク材料に埋め込まれた位置合わせマークを備える、インプリント・リソグラフィのためのインプリント・テンプレートである。

請求項（抜粋）：

インプリント・テンプレートのバルク材料に埋め込まれた位置合わせマークを備える、インプリント・リソグラフィのためのインプリント・テンプレート。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 502D

Fターム (4件)：

5F046AA28 ,  5F046EA11 ,  5F046EA24 ,  5F046EB10