信頼性評価用回路

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270805
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097256
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】エレクトロマイグレーションあるいはイオンマイグレーション評価試験等の信頼性試験を高加速試験にて行うことを可能にする、信頼性評価用回路を提供する。【構成】信頼性評価用回路は、信頼性評価を行うべき導体部12,14、及び導体部上に形成された保護膜16から成り、導体部上に形成された保護膜の一部分に開口部18が設けられている。あるいは又、導体部から成る信頼性評価用回路において、信頼性評価を行うべき導体部の近傍に熱良導体層を設ける。

請求項（抜粋）：

信頼性評価を行うべき導体部、及び該導体部上に形成された保護膜から成る信頼性評価用回路であって、導体部上に形成された保護膜の一部分に開口部が設けられていることを特徴とする信頼性評価用回路。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , H01L 21/90

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-195035
特開昭58-014069
特開平4-034955

全件表示

前のページに戻る