特許

J-GLOBAL ID：200903052486680585

縦型半導体製造装置

発明者： 中村 直人
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308179
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126997
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 温度検出精度の向上を図ることができると共に、補償導線の交換の面倒を無くす。【解決手段】 下端開口を有する反応管3と、ボートエレベータ10によって昇降させられることで反応管3の下端開口を開閉する炉口キャップ8と、炉口キャップ8に搭載され炉口キャップ8の昇降によって下端開口より反応管3内に対して出し入れされるボート7と、ボート7と一緒に反応管3内に対して出し入れされるよう炉口キャップ8に搭載された熱電対15と、炉口キャップ8を通して外部に導出された熱電対15の素線と接続され熱電対15の熱起電力を電気信号に変換する検出器25とを備えており、該検出器25が炉口キャップ8を保持するエレベータアーム9に搭載され、検出器25の出力する電気信号が温度調節器20に、補償導線ではなく通常の信号線26を通して送られる。

請求項（抜粋）：

下端開口を有する反応管と、ボートエレベータによって昇降させられることで前記反応管の下端開口を開閉する炉口キャップと、該炉口キャップに搭載され炉口キャップの昇降によって前記下端開口より反応管内に対して出し入れされるボートと、ボートと一緒に反応管内に対して出し入れされるよう前記炉口キャップに搭載された熱電対と、前記炉口キャップを通して外部に導出された前記熱電対の素線と接続され該熱電対の熱起電力を電気信号に変換する検出器とを備えており、該検出器が、前記炉口キャップまたは炉口キャップと一緒に昇降する部材に搭載されていることを特徴とする縦型半導体製造装置。

IPC (6件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22 501 ,  G01K 1/14 ,  G01K 7/02 ,  G01K 13/00 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

H01L 21/22 511 Q ,  H01L 21/22 501 N ,  G01K 1/14 L ,  G01K 7/02 B ,  G01K 13/00 ,  H01L 21/205

Fターム (11件)：

2F056CL13 ,  2F056WA01 ,  2F056WA03 ,  5F045BB10 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EB02 ,  5F045EC02 ,  5F045EK06 ,  5F045EM10 ,  5F045GB05