特許
J-GLOBAL ID:200903052487479247

無電解銅めっき液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三枝 英二 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-091291
公開番号(公開出願番号):特開平6-306622
出願日: 1993年04月19日
公開日(公表日): 1994年11月01日
要約:
【要約】【構成】本発明は、(i) 第二銅化合物、(ii)ジエチレントリアミンペンタ酢酸又はその塩、(iii) モノエタノールアミン及びN,N,N ́,N ́-テトラキス(2-ヒドロキシプロピル)エチレンジアミンの少なくとも一種、並びに(iv)ヒドラジン化合物を含有する水溶液からなる無電解銅めっき液を提供するものである。【効果】本発明の無電解銅めっき液は、無臭で分解生成物の蓄積のないヒドラジン化合物を還元剤として使用し、しかも浴安定性が良好でめっき析出性にも優れたものであり、作業環境を悪化させることがなく、安定して良好な銅めっき皮膜を形成し得るものである。
請求項(抜粋):
(i) 第二銅化合物、(ii)ジエチレントリアミンペンタ酢酸又はその塩、(iii) モノエタノールアミン及びN,N,N ́,N ́-テトラキス(2-ヒドロキシプロピル)エチレンジアミンの少なくとも一種、並びに(iv)ヒドラジン化合物を含有する水溶液からなる無電解銅めっき液。
IPC (2件):
C23C 18/40 ,  H05K 3/18

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