特許

J-GLOBAL ID：200903052489399259

カラ-フィルタの製造方法

発明者： 二階堂 勝 ,  池田 誠
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-149240
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341112
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】この発明は、着色層,オ-バ-コ-ト層の異物や混色部を表面の炭化やスプラッシュの発生なく除去することが出来、高品質で且つ電極間の短絡のない液晶表示装置が得られるカラ-フィルタの製造方法を提供することを目的とする。【構成】この発明のカラ-フィルタの製造方法は、透明基板1上に直接又は他の層を介して着色層3a,3b,3cを形成し、この着色層上に直接又はオ-バ-コ-ト層5を介して透明導電膜6を形成する時、着色層又はオ-バ-コ-ト層に異物4又は混色部がある場合、この異物又は混色部を検出し、そこに150乃至400nmの範囲の波長を有するエキシマレ-ザ光を照射して、光化学反応により異物又は混色部を除去することにより、上記の目的を達成することが出来る。

請求項（抜粋）：

透明基板上に直接又は他の層を介して着色層を形成し、この着色層上に直接又はオ-バ-コ-ト層を介して透明導電膜を形成するカラ-フィルタの製造方法において、上記着色層又は上記オ-バ-コ-ト層に異物又は混色部がある場合、該異物又は混色部を検出し、そこに150乃至400nmの範囲の波長を有するエキシマレ-ザ光を照射して、光化学反応により該異物又は混色部を除去することを特徴とするカラ-フィルタの製造方法。