特許

J-GLOBAL ID：200903052490622921

光導波路

発明者： 塩野 嘉幸 ,  丹野 雅行 ,  小堺 正平 ,  流王 俊彦
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286529
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140336
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は伝搬損失がきわめて小さく、生産性の高い光導波路の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の光導波路は、基板上に形成されたアンダークラッド層、コア部また、さらにオーバークラッド層を、シロキサン系ポリマー由来のガラスで被覆してなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたアンダークラッド層、コア部を、シロキサン系ポリマー由来のガラスで被覆してなることを特徴とする光導波路。