特許
J-GLOBAL ID:200903052492496273

反射防止膜

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-285276
公開番号(公開出願番号):特開2001-108802
出願日: 1999年10月06日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】 特に紫外域に於いて、低反射、且つ広帯域であり、耐久性が高く、安全衛生上問題の少ない反射防止膜を提供すること。【解決手段】反射防止膜を構成する層の少なくとも1層を、低屈折率物質を物理的な方法で入射角60 ゚以上で成膜し、低屈折率化した層とすることにより課題を解決した。
請求項(抜粋):
光学基板上に入射角60 ゚以上で物理的方法で成膜、形成された低屈折率物質の薄膜を1層以上具えることを特徴とした反射防止膜。
Fターム (7件):
2K009AA02 ,  2K009AA04 ,  2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03

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