位置ずれ読み取りバーニア

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-236031
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083406
出願日： 1997年09月01日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は相対的位置ずれ量を正確に読み取る為の金属顕微鏡などの位置ずれ読み取りバーニアに関し、目視による位置ずれ量読み取りバーニアにおいて第1目盛り分解能以下の位置ずれ量を精度よく読み取る事を課題とする。【解決手段】主尺24と副尺22とからなり、この主尺24と副尺22とを相対的に位置ずれさせて被測定物の測長を行なう位置ずれ読み取りバーニアにおいて、前記主尺24または副尺22の何れか一方を斜辺を有した形状の第1の読み取り部26を形成し、他方に設けられた第2の読み取り部28に前記位置ずれ方向と異なる方向に増幅変換された位置ずれ量を読み取る目盛り30を形成する。

請求項（抜粋）：

主尺と副尺とからなり、該主尺と副尺とを相対的に位置ずれさせて被測定物の測長を行なう位置ずれ読み取りバーニアにおいて、前記主尺または副尺の少なくとも一方に、読み取り分解能が異なる複数の目盛を複数の方向に形成したことを特徴とする位置ずれ読み取りバーニア。

IPC (3件)：

G01B 3/20 101 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (3件)：

G01B 3/20 101 A , G03F 1/08 N , H01L 21/30 525 E

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