光学回折格子の製造方法及びそれを用いた光ヘッド装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-157222
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010307
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】非対称な構造を有する光学回折格子を生産性良く製造する。【解決手段】透明材料膜2を設けた基板1の表面にフォトレジストを形成し、これを斜め露光し、現像することにより残存したフォトレジスト3の格子の短手方向の側面が非対称になるようにし、次いでドライエッチングすることにより、透明材料膜4の格子の短手方向の側面が非対称になるようにする。

請求項（抜粋）：

基板の表面に格子状の凸部が形成された光学回折格子の製造方法において、基板の表面にフォトレジストを形成し、このフォトレジストを斜め露光し、現像することにより残存したフォトレジストの格子の短手方向の側面が非対称になるようにし、次いでドライエッチングすることにより、エッチングにより残存した凸部の格子の短手方向の側面が非対称になるようにしたことを特徴とする光学回折格子の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/18 , G02F 1/1333 500 , G11B 7/135

FI (3件)：

G02B 5/18 , G02F 1/1333 500 , G11B 7/135 A

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平4-007504
特開昭54-121150
特開平3-225636

全件表示

審査官引用 (15件)

特開平4-007504
特開平4-007504
特開平4-007504

全件表示

前のページに戻る