特許

J-GLOBAL ID：200903052527731840

半導体装置の製造方法および半導体装置

発明者： 伊藤 文俊 ,  奥山 幸祐
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-086566
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282703
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】 半導体装置の配線形成工程を簡略化する。【解決手段】 絶縁膜2にコンタクトホールCNT1を形成した後、導体膜3a,3bを下層から順に堆積してコンタクトホールCNT1を埋め込む。続いて、導体膜3bをエッチバックすることなく、導体膜3b上に、アルミニウムの配向性を向上させる導体膜4を堆積した後、その上にアルミニウム等からなる主導体膜5を堆積し、さらにその上に導体膜6を堆積する。その後、これら導体膜3a,3b,6および主導体膜5をパターニングすることで第1層配線L1を形成する。

請求項（抜粋）：

以下の工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法;(a)半導体基板上に絶縁膜を堆積する工程、(b)前記絶縁膜に孔を形成する工程、(c)前記絶縁膜上に、前記孔を埋め込むように配線形成用の第1導体膜を堆積する工程、(d)前記第1導体膜上にアルミニウムを主成分とする材料の配向性を向上させる機能を有する配線形成用の第2導体膜を堆積する工程、(e)前記第2導体膜上に、アルミニウムを主成分とする配線形成用の主導体膜を堆積する工程。

IPC (4件)：

H01L 21/768 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092

FI (3件)：

H01L 21/28 E ,  H01L 21/90 A ,  H01L 27/08 321 F

Fターム (124件)：

4M104AA01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB26 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB36 ,  4M104BB37 ,  4M104CC01 ,  4M104DD08 ,  4M104DD15 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD19 ,  4M104DD20 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD65 ,  4M104DD66 ,  4M104DD75 ,  4M104EE08 ,  4M104EE12 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG16 ,  4M104HH09 ,  4M104HH14 ,  4M104HH15 ,  4M104HH20 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH23 ,  5F033HH29 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ23 ,  5F033JJ29 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK11 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK21 ,  5F033KK23 ,  5F033KK29 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033LL07 ,  5F033MM02 ,  5F033MM05 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033PP33 ,  5F033QQ03 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ21 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR09 ,  5F033RR11 ,  5F033RR25 ,  5F033RR29 ,  5F033SS11 ,  5F033TT02 ,  5F033TT04 ,  5F033VV16 ,  5F033XX03 ,  5F033XX04 ,  5F033XX05 ,  5F033XX06 ,  5F033XX09 ,  5F033XX10 ,  5F033XX13 ,  5F033XX14 ,  5F033XX24 ,  5F033XX27 ,  5F033XX28 ,  5F033XX33 ,  5F033XX34 ,  5F048AA09 ,  5F048AB01 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BE03 ,  5F048BF01 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BF12 ,  5F048BF16 ,  5F048BG12 ,  5F048BG14