特許
J-GLOBAL ID：200903052530569530
圧電変位センサおよび圧電変位センサによる変位の検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-326825
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160011
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 圧電体を利用した一体型の多軸方向の変位を検出する【解決手段】 圧電セラミック11の内周面の全面に電極12が設けられる。前記圧電セラミック11の外周面には、対向する一対の電極EL1,EL2が設けられ圧電変位センサ10が構成される。なお、前記電極EL1,EL2はx軸に対して垂直な面に設けられるものとする。前記圧電変位センサ10において、x軸方向の変位と電極に現れる電位との関係を表す係数をaとして、前記圧電セラミック11の一端がx軸方向にXだけ変位した際、電極13には電位aXが現れ、電極14には電位-aXが現れる。ゆえに、前記圧電変位センサ10は、電極EL1と電極EL2に現れる電位の差分をとることで、変位Xを検知できる1軸センサになる。
請求項（抜粋）：
圧電体よりなる筒状の構造体の内周面全面に電極を設けると共に、外周面に対向する一対の電極を設けて構成したことを特徴とする圧電変位センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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