特許
J-GLOBAL ID：200903052533925230

透明導電膜の製造方法および透明導電膜

発明者：
福田 和浩

福田 和浩 について


出願人/特許権者：
コニカ株式会社

コニカ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110800
公開番号（公開出願番号）：特開2000-303175
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：
【要約】【課題】 導電性、生産性に優れた透明導電膜の製造方法およびその製造方法によって形成された透明導電膜を提供する。【解決手段】 反応性ガスの存在下プラズマ放電を行う処理系に、被処理体をさらすことにより、前記被処理体上に透明導電膜を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。
請求項（抜粋）：
反応性ガスの存在下プラズマ放電を行う処理系に、被処理体をさらすことにより、前記被処理体上に透明導電膜を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。
IPC (4件)：
C23C 16/40 ,  C08J 7/00 ,  G03C 1/85 ,  H01B 5/14
FI (4件)：
C23C 16/40 ,  C08J 7/00 Z ,  G03C 1/85 ,  H01B 5/14
Fターム (38件)：
2H023FC00 ,  2H023FC10 ,  4F073AA04 ,  4F073BA03 ,  4F073BA06 ,  4F073BA19 ,  4F073BA23 ,  4F073BA26 ,  4F073BA31 ,  4F073CA01 ,  4F073CA62 ,  4F073CA64 ,  4F073CA65 ,  4F073CA68 ,  4F073CA70 ,  4F073HA03 ,  4F073HA12 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA16 ,  4K030AA24 ,  4K030BA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA47 ,  4K030CA07 ,  4K030EA01 ,  4K030FA03 ,  4K030JA09 ,  4K030JA11 ,  4K030JA14 ,  4K030JA18 ,  4K030KA46 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • 特開昭60-138073
  • 特開昭62-260065
  • 特開昭62-089873
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