特許

J-GLOBAL ID：200903052540100646

マグネトロン発振出力制御装置

発明者： 野田 省三
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188479
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041955
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：

【要約】【目的】 マグネトロンの寿命を短くすることなく、簡単な回路構成及び制御を用いることでマグネトロンのμ波出力を安定に制御して、安定したμ波プラズマの発生を実現し、μ波プラズマ処理を高速に、且つ、高精度で行うことを可能とすること。【構成】 パルス信号によりオン/オフ状態を制御されるスイッチ回路SW1と、マグネトロンにμ波電力パルスを印加する整流回路D3,D4,C3と、一次側の一端が交流電源、他端がスイッチ回路SW1に接続され、二次側が整流回路D3,D4,C3に接続されたトランスT3とを有し、前記スイッチ回路SW1は、整流回路D3,D4,C3の出力するμ波電力パルスのデューティー比及びそのデューティー比の繰り返し周波数が各々一定となるように前記パルス信号によりオン/オフ状態を制御されるように構成する。

請求項（抜粋）：

パルス信号によりオン/オフ状態を制御されるスイッチ回路(SW1)と、マグネトロンにμ波電力パルスを印加する整流回路(D3,D4,C3)と、一次側の一端が交流電源、他端が該スイッチ回路(SW1)に接続され、二次側が該整流回路(D3,D4,C3)に接続されたトランス(T3)とを有し、該スイッチ回路(SW1)は、該整流回路(D3,D4,C3)の出力するμ波電力パルスのデューティー比及びそのデューティー比の繰り返し周波数が各々一定となるように前記パルス信号によりオン/オフ状態を制御される、マグネトロン発振出力制御装置。

IPC (4件)：

C23C 16/50 ,  H01L 21/31 ,  H03B 9/10 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 A