角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-354304
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165664
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】水晶等の単結晶圧電材料よりなる音叉振動子を利用した角速度センサの駆動効率を高めることを目的とする。【解決手段】直接接合された音叉振動子10の一方の音叉アーム10aの第1、第2の主面、外側面、内側面に設けられた駆動電極1,2、検出電極3,4と他方の音叉アーム10bの第1、第2の主面、内側面、外側面に設けられた駆動電極5、モニタ電極6、検出電極7,8とを備え、前記駆動電極2,5は互いに同一極性でありかつ前記駆動電極1は前記駆動電極2,5に対して互いに逆極性となるように駆動電源9により駆動電圧が印加されるように構成した。

請求項（抜粋）：

単結晶圧電材料からなる少なくとも2本のアームと前記アームを連結する少なくとも1つの基部から構成される第1の振動子と、前記第1の振動子とほぼ相似形で単結晶圧電材料から構成された第2の振動子とを含み、前記第1の振動子と前記第2の振動子は前記各振動子の幅方向において互いに逆極性の圧電現象を生ずる結晶軸方向でかつ厚み方向に直接接合して一体化してなり、少なくとも2本の音叉アームと少なくとも1つの音叉基部を有するように構成した音叉振動子と、前記音叉振動子の一方の音叉アームの第1、第2の主面、外側面、内側面にそれぞれ設けられた第1、第2、第3、第4の電極と、前記音叉振動子の他方の音叉アームの第1の主面又は第2の主面のいずれか一方に設けられた第5の電極と前記音叉振動子の他方の音叉アームの内側面、外側面にそれぞれ設けられた第6、第7の電極とを備え、前記第5の電極が第1の主面に設けられている時は前記第2、第5の電極は互いに同一極性でありかつ前記第1の電極は前記第2、第5の電極に対して互いに逆極性となるように駆動電圧が印加され、前記第5の電極が第2の主面に設けられている時は前記第2、第5の電極は互いに逆極性でありかつ前記第1の電極と前記第5の電極は互いに同一極性となるように駆動電圧が印加される構成とした角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (13件)：

2F105AA01 , 2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105AA10 , 2F105BB20 , 2F105CC01 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (2件)

角速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-123216 出願人：松下電器産業株式会社, 日本電波工業株式会社
角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-196367 出願人：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所

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