特許

J-GLOBAL ID：200903052546246073

バレル型気相成長用サセプタ

発明者： 萩原 博隆 ,  天野 正実 ,  鈴木 俊一 ,  外谷 栄一
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312748
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135434
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 耐用寿命を大幅に向上させ得るバレル型気相成長用サセプタを提供する。【解決手段】 半導体ウェーハを収容する座ぐり凹部3の底面にその周縁に沿う溝4を有するバレル型気相成長用サセプタにおいて、前記溝における少なくとも外側の入隅が斜面又は凹曲面状に形成されている。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハを収容する座ぐり凹部の底面にその周縁に沿う溝を有するバレル型気相成長用サセプタにおいて、前記溝における少なくとも外側の入隅が斜面又は凹曲面状に形成されていることを特徴とするバレル型気相成長用サセプタ。