特許
J-GLOBAL ID:200903052559308191

逆光電子分光用狭帯域高感度光検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-053822
公開番号(公開出願番号):特開平7-260718
出願日: 1994年03月24日
公開日(公表日): 1995年10月13日
要約:
【要約】【目的】 本発明は逆光電子分光用狭帯域高感度光検出器に係り、本発明の属する技術分野は電子技術、光技術であって、高分解能逆光電子分光装置に使用されるものである。【構成】 電子銃よりの電子線を試料に当て、試料から放出された光を集光投射し、光検出を行う逆光電子分光装置の光検出器において、前記光検出器の光電子増倍管の前面にKCl薄膜を蒸着したCaF2 単結晶窓を設け、前記光電子増倍管の第1ダイノードの表面にKCl薄膜を蒸着したものより成り、前記光電子増倍管の出力側を増幅器を介してパルス計数回路に接続し、逆光電子分光用帯域フィルターとしての窓の透過率、検出感度等の光吸収諸特性を測定するよう構成したことを特徴とする逆光電子分光用狭帯域高感度光検出器。
請求項(抜粋):
電子銃よりの電子線を試料に当て、試料から放出された光を集光投射し、光検出を行う逆光電子分光装置の光検出器において、前記光検出器の光電子増倍管の前面にKCl薄膜を蒸着したCaF2 単結晶窓を設け、前記光電子増倍管の第1ダイノードの表面にKCl薄膜を蒸着したものより成り、前記光電子増倍管の出力側を増幅器を介してパルス計数回路に接続し、逆光電子分光用帯域フィルターとしての窓の透過率、検出感度等の光吸収諸特性を測定するよう構成したことを特徴とする逆光電子分光用狭帯域高感度光検出器。
IPC (4件):
G01N 23/227 ,  G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01N 21/62

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