特許
J-GLOBAL ID：200903052570473072
薄板材吸着保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 勇治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309607
公開番号（公開出願番号）：特開平6-134636
出願日： 1992年10月25日
公開日（公表日）： 1994年05月17日
要約：
【要約】【構成】 負圧源に接続される吸着穴が設けられ、薄板材の載置面をもつ載置部材からなり、上記載置面に柔軟弾性を有する密着環状材を保持可能な保持部を設けると共に該保持部に保持された密着環状材を保持部に止着可能な取付部材を設け、該取付部材に上記吸着穴を設け、上記載置面及び取付部材の表面を上記薄板材の吸着保持形状に適合した所定形状に形成てなる。【効果】 負圧源により吸着穴の吸着作用を生じさせると薄板材は載置面及び取付部材の表面に密着保持され、柔軟弾性を有する密着環状材の端縁は薄板材に密着して変形し、この際に載置面及び取付部材の表面は薄板材の吸着保持形状に適合した所定形状に形成されているため、所定の形状を保有した状態で吸着保持され、このため薄板材を変形可能限度以上に変形させることなく良好に吸着保持できる。
請求項（抜粋）：
負圧源に接続される吸着穴が設けられ、薄板材の載置面をもつ載置部材からなり、上記載置面に柔軟弾性を有する密着環状材を保持可能な保持部を設けると共に該保持部に保持された密着環状材を保持部に止着可能な取付部材を設け、該取付部材に上記吸着穴を設け、上記載置面及び取付部材の表面を上記薄板材の吸着保持形状に適合した所定形状に形成したことを特徴とする薄板材吸着保持装置。
IPC (3件)：
B23Q 3/08
, H01L 21/68
, H01L 33/00
