特許
J-GLOBAL ID：200903052571942980
エッチング保護シートおよび回路の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-223624
公開番号（公開出願番号）：特開2004-060030
出願日： 2002年07月31日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：
【課題】本発明は、アルカリ現像、エッチング、レジスト除去を経過しても、金属べた部や回路部がエッチングで腐食しないように保護することが可能で、露光時の異物の影響をなくし、全面露光や物理的剥離の手間のないエッチング保護シートを提供することを課題とする。【解決手段】(C)レジスト除去液に溶解し且つ粘着性を有する層上に、少なくとも(A)エッチング液に溶解する層と(B)レジスト除去液に溶解し且つアルカリ現像液に溶解しない層の何れか1層が積層されてなることを特徴とするエッチング保護シートを、基板上のエッチングを行わない予定の領域に貼り付けてエッチング液から保護する回路の形成方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(C)レジスト除去液に溶解し且つ粘着性を有する層上に、少なくとも(A)エッチング液に溶解する層と(B)レジスト除去液に溶解し且つアルカリ現像液に溶解しない層の何れか1層が積層されてなることを特徴とするエッチング保護シート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
4K057WA19
, 4K057WA20
, 4K057WB04
, 4K057WC05
, 4K057WN01
, 4K057WN03
, 5E339AA02
, 5E339AB02
, 5E339AC01
, 5E339AD01
, 5E339AD03
, 5E339AD05
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CD01
, 5E339CE02
, 5E339CE16
, 5E339GG02
