特許

J-GLOBAL ID：200903052574792962

金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者： 上武 和弥 ,  夏原 益宏 ,  下田 浩平 ,  請川 治平 ,  仲田 博彦
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 中村 勝成 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097201
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287093
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【目的】 ペーストの印刷性の低下を招くような有機バインダー量の低減の必要がなく、金属化層のシート抵抗を従来よりも低下させ、高密度多層配線が可能なWの金属化層を有するAlN焼結体の製造方法を提供する。【構成】 AlNを主成分とするセラミックスグリーンシート上にW粉末と、必要によりセラミックス粉末と、有機バインダーとからなるペーストを印刷し、非酸化性雰囲気中において同時焼成する方法であり、ペーストに含まれるW粉末全体を100重量部としたとき、粒径1.0μm未満のものが5.0重量部未満、粒径1.0〜2.0μmのものが50重量部以上、粒径5.0μm以上のものが10重量部以下であって、見掛密度が0.9〜3.2g/cm3の範囲にあるW粉末を使用する金属化層を有するAlN焼結体の製造方法。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスグリーンシート上にタングステン粉末と有機バインダーとからなるペーストを印刷した後、非酸化性雰囲気中において同時焼成することによりタングステンの金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体を製造する方法において、前記ペーストに含まれるタングステン粉末が、当該タングステン粉末全体を100重量部としたとき、粒径1.0μm未満のものが5.0重量部未満、粒径1.0〜2.0μmのものが50重量部以上、粒径5.0μm以上のものが10重量部以下であって、且つ見掛密度が0.9〜3.2g/cm3の範囲にあることを特徴とする金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法。