特許

J-GLOBAL ID：200903052578636167

誘導プラズマの発生装置

発明者： 宮本 昌広 ,  山田 守 ,  作田 忠裕
出願人/特許権者： 富士電機株式会社 ,  作田 忠裕
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046249
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254496
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】シースガスを射出させるガス射出部の軸方向長を小さくすることにより、装置を小型化する。【構成】シードガス7の吹込管13の外周面と絶縁管11の内周面との間に介装され、絶縁管11の内周面に添ってらせん状に流れるシースガス6を射出するガス射出部15が環状体15にシースガス6の射出穴が貫通して設けられ、射出穴のシースガス出口側の向きが絶縁管11の周方向に対してコイル1側へ傾斜して設けられる。

請求項（抜粋）：

絶縁管と、この絶縁管の軸方向の一方端に設けられ絶縁管の内部に向けてシードガスを吹き込むガス吹込管と、このガス吹込管の外周面と絶縁管の内周面との間に介装され、絶縁管の内周面に添ってらせん状に流れるシースガスを射出するガス射出部と、絶縁管の外周に巻回されたコイルと、このコイルに接続された高周波電源とにより構成されたものにおいて、ガス射出部が環状体よりなり、この環状体にシースガスの射出穴が貫通して設けられ、射出穴のシースガス出口側の向きが絶縁管の周方向に対してコイル側へ傾斜してなることを特徴とする誘導プラズマ発生装置。