特許

J-GLOBAL ID：200903052590959001

平行検出分光楕円偏光計/偏光計

発明者： ファータック・トマス・イー
出願人/特許権者： コロラド・スクール・オブ・マインズ
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-521964
公開番号（公開出願番号）：特表2003-508772
出願日： 2000年07月27日
公開日（公表日）： 2003年03月04日
要約：

【要約】平行検出分光楕円偏光計/偏光計センサ10は、可動部分を有することなくかつ処理室内でサンプル22の薄膜表面特性の随時モニタリングのためにリアルタイムに作動する。該センサは偏光子16を介してサンプルの表面に向けられたコリメートビーム14を形成するための多重スペクトル光源源12を有する。このようにコリメートされたビームはサンプル22の表面に当たりかつサンプル22の表面から反射され、それによってサンプル22の固有の材料特性のための偏光状態が変化する。サンプル22から反射された光は偏光フィルタを通った別々のビーム36,38,58,62に分離され、各ビームは個別の分光強度を有する。該4つの個別の分光強度についてのデータは、処理室内に集められ、1つ又はそれ以上の分光計に送られる。その後全部で4つの個別の分光強度のデータは変換アルゴリズムを使用してリアルタイムに分析される。

請求項（抜粋）：

サンプルの表面の特性をリアルタイムにモニタリングするための可動部分を有しない平行検出分光楕円偏光計/偏光計センサであって、材料配置室内又はその外方には以下のもの、即ち、 サンプルの表面に向けられたコリメートされたビームを形成するための多重スペクトル光源と、 偏光光学系であって、多重スペクトル光線のコリメートされたビームがサンプルの表面に当たりかつサンプルの表面から反射され、サンプルの表面でスペクトル光線の偏光状態がサンプルの表面の本来の特性のために変えられるようにするものと、 サンプルの表面から反射したあるスペクトル光線を4つの別々の偏光フィルタをかけられたビームに分割する光学的手段と、 個別のスペクトル強度を有する4つの別々のビームを形成するための該4つの別々に偏光フィルタをかけられるビームのための光学的フィルタ手段と、 該4つの個別のスペクトル強度の全てについてのデータを収集する手段であって、該収集手段は材料配置室内に内蔵されているものと、 該全部で4つの個別のスペクトル強度の全てのうちのあるデータを伝達する手段であって、該伝達手段は該データ収集手段と作用的に協働するものと、 スペクトル強度特性デーダを受けるための1つ又はそれ以上の数の分光計と、 リアルタイムにかつすべての波長から収集されたデータを集積することによりサンプルに特有の情報を形成することができる進んだ変換アルゴリズムを使用して、4つの個別のスペクトル強度についてのデータを分析する手段とを含む前記平行検出分光楕円偏光計/偏光計。

IPC (4件)：

G01J 4/04 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/27 ,  G02B 5/30

FI (4件)：

G01J 4/04 A ,  G01N 21/21 Z ,  G01N 21/27 B ,  G02B 5/30

Fターム (29件)：

2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ26 ,  2G059KK03 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM14 ,  2G059PP04 ,  2H049BA02 ,  2H049BA03 ,  2H049BA05 ,  2H049BA07 ,  2H049BB02 ,  2H049BB03 ,  2H049BC23