特許

J-GLOBAL ID：200903052592493778

β-C3N4薄膜を含むデバイス

発明者： ガン-カイ デヴィッド ジェン ,  ジェームス ウィンフィールド ミッチェル
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・アイピーエム・コーポレーション
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125351
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337499
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【課題】 β-C3N4薄膜を含むデバイスを提供する。【解決手段】 本発明では、発明者は、マイクロ波プラズマ化学気相輸送(法)を用いて、単相β-C3N4結晶体の連続的な薄膜を作成する方法を見いだした。当該薄膜は、基板を保護するに有用な、硬質で、半透明なナノ結晶体である。

請求項（抜粋）：

表面(110)を有し、前記表面(110)の一部に固着した、β-C3N4結晶体の連続的な薄膜(120)を有する基板(17)を含むことを特徴とするデバイス。

IPC (6件)：

C30B 29/38 ,  C01B 21/082 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/314

FI (6件)：

C30B 29/38 Z ,  C01B 21/082 K ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/314 A