特許
J-GLOBAL ID：200903052609178235
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102665
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 特に寸法忠実度およびフォーカス許容性に優れ、現像性およびパターン形状も良好なポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂並びに下記式【化1】で代表されるフェノール性水酸基含有化合物および/またはそのキノンジアジド基を有する誘導体を含有し、且つ組成物中には、キノンジアジド基を有する成分を含有する。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂並びに下記一般式(1)【化1】〔一般式(1)において、X1〜X8は同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基、アルコキシ基または-OD基( 但し、D は水素原子であるかもしくはキノンジアジド基を有する有機基である。)を示し、R は単結合、アルキレン基またはフェニレン基を示す。但し、X1〜X8の少なくとも1つは-OD基であるものとする。〕で表される化合物を含有し、且つ一般式(1)の D が全て水素原子である場合には、キノンジアジド基を有する他の化合物をさらに含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (2件)：
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