特許

J-GLOBAL ID：200903052624517674

高抵抗再結晶炭化珪素、耐蝕性部材、高抵抗再結晶炭化珪素の製造方法および耐蝕性部材の製造方法

発明者： 相原 靖文 ,  井上 勝弘
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175942
公開番号（公開出願番号）：特開2000-007438
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】体積抵抗率の大きな再結晶炭化珪素を提供し、また高抵抗再結晶炭化珪素を製造する方法を提供する。【解決手段】開気孔を有する再結晶炭化珪素であって、前記開気孔の内壁面のカーボン層がエッチングにより除去されており、室温抵抗率10000Ω・cm以上であることを特徴とする。開気孔を有する再結晶炭化珪素からなる素材を酸の溶液に浸漬させた状態で熱処理を施すことにより、開気孔の内壁面をエッチングする。好ましくは、酸の溶液は、少なくともフッ化水素酸を含んでおり、より好ましくは、フッ化水素酸と硝酸を含んでおり、熱処理の温度が100°C以上である。

請求項（抜粋）：

開気孔を有する再結晶炭化珪素であって、前記開気孔の内壁面のカーボン層が除去されており、室温抵抗率10000Ω・cm以上であることを特徴とする、高抵抗再結晶炭化珪素。

IPC (2件)：

C04B 35/565 ,  C04B 41/91

FI (3件)：

C04B 35/56 101 X ,  C04B 41/91 B ,  C04B 35/56 101 A

Fターム (8件)：

4G001BA22 ,  4G001BB22 ,  4G001BB71 ,  4G001BC33 ,  4G001BC54 ,  4G001BC57 ,  4G001BC72 ,  4G001BD37