特許
J-GLOBAL ID：200903052629406099
ワイヤボンディング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-342810
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151545
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：
【要約】【課題】 可能な限り簡素で軽量な構成を備え、Z方向に高速揺動するZ方向可動部でのイナーシャを大幅に低減し、振動を抑え安定したZ方向可動部の高速揺動を実現することができるワイヤボンディング装置を提供する。【解決手段】 ワイヤボンダ21は、X及びY方向に移動可能なXYステージ上に配設され、前記X及びY方向と直交するZ方向に回動可能なワイヤクランプ22と、ワイヤクランプ22にワイヤ把持力を与える駆動手段とを備える。この駆動手段は、ワイヤクランプ22に配設されチューブ23を介して導入される流体により形状を変化させてワイヤ把持力を発生する弾性袋部材14を備えている。
請求項（抜粋）：
X及びY方向に移動可能なXYステージ上に配設され前記X及びY方向と直交するZ方向に回動可能なワイヤクランプと、該ワイヤクランプにワイヤ把持力を与える駆動手段とを備えたワイヤボンディング装置において、前記駆動手段が、前記ワイヤクランプに配設されチューブを介して導入される流体により形状を変化させてワイヤ把持力を発生する把持部材を備えることを特徴とするワイヤボンディング装置。
Fターム (1件)：
前のページに戻る
