特許

J-GLOBAL ID：200903052632196712

リソグラフィー用ペリクルの製造方法

発明者： 永田 愛彦
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209088
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039494
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 フッ素系ポリマーからなるペリクル膜と、フッ素系ポリマーからなる接着剤とを熱的に融着させて、ペリクル膜をフレームに接着させたリソグラフィー用ペリクルを、ペリクル膜に変形や損傷を与えることなく製造でき、品質の優れたペリクルを提供できる方法を開発する。【解決手段】 フッ素系ポリマーからなるペリクル膜と、フッ素系ポリマーからなる接着剤との熱的な融着によって、ペリクル膜をフレームに接着することによるリソグラフィー用ペリクルの製造方法において、ペリクル膜と接着剤との熱的な融着を、赤外〜紫外光のフラッシュ加熱により行う、ことを特徴とするリソグラフィー用ペリクルの製造方法。

請求項（抜粋）：

フッ素系ポリマーからなるペリクル膜と、フッ素系ポリマーからなる接着剤との熱的な融着によって、ペリクル膜をフレームに接着することによるリソグラフィー用ペリクルの製造方法において、ペリクル膜と接着剤との熱的な融着を、赤外〜紫外光のフラッシュ加熱により行う、ことを特徴とするリソグラフィー用ペリクルの製造方法。

IPC (6件)：

G03F 1/14 ,  B29C 65/14 ,  C09J127/12 JCQ ,  H01L 21/027 ,  B29K 27:12 ,  B29L 9:00

FI (4件)：

G03F 1/14 J ,  B29C 65/14 ,  C09J127/12 JCQ ,  H01L 21/30 502 P